Institut Ruđer Bošković (IRB) nudi uslugu pripravljanja tankih filmova postupkom magnetronskog rasprašenja na CMS-18 sustavu.

Cms-18 sustav za pripravljanje tankih filmova postupkom magnetronskog rasprašenja

Tržišna prilika

Uređaj pruža široke mogućnosti za pripravljanje poznatih ili novih materijala i struktura u obliku tankih filmova.

Sa svoja četiri magnetronska izvora uređaj omogućava pripravljanje različitih (metalnih, poluvodičkih, dielektričnih, metastabilnih itd.) materijala u širokom rasponu sastava i struktura postupcima depozicije, kodepozicije, sekvencijalne depozicije i reaktivne depozicije na različite podloge.

Materijali pripravljeni na CMS-18 mogu biti izuzetno zanimljivi proizvođačima tehnološki naprednih proizvoda a posebno proizvođačima medicinskih implantata i opreme, platinskih otpornih termometara, alata poboljšanih mehaničkih osobina i alata za rad u korozivnim medijima.

Tehnički opis uređaja

Komora za depoziciju (SS 316) promjera 45 cm, visine 50 cm. Rezidualni tlak 10-8 mbar. Pretkomora za manipuliranje podlogama bez narušavanja vakuuma u procesnoj komori. Četiri magnetrona TORUS®3, svaki sa svojim napajanjem - 2 istosmjerna magnetrona (0,5 KW DC & 1,0 KW DC) + 2 radiofrekventna magnetrona (2 x 600 W RF). Jedan magnetron sa ugrađenom posebnom konfiguracijom magneta za rasprašenje feromagnetnih materijala. Nosač podloga za depoziciju veličine do 150 mm promjera, promjenjive udaljenosti od magnetrona. Omogućava rotaciju podloge (do 40 rpm), grijanje do 800°C ili hlađenje na LN2 temperaturu in situ, te DC ili RF električnu polarizaciju u odnosu na plazmu izboja. Uređaj može raditi uz nezavisno uvođenje dva reaktivna plina za reaktivnu depoziciju.

Nikola Radić

Nikola Radić, Dr.sc.

Znanstveni savjetnik II +385 1 468 0224
-

Postupci pripravljanja: jednostavna depozicija iz jednog izvora (sa jednostavnom ili složenom metom), kodepozicija iz dva ili više izvora, sekvencijalna depozicija slojevitih struktura (korištenjem zaslona), i reaktivna depozicija.

Ponuda usluge

Tvrtke zainteresirane za pripravu poznatih i novih materijala u obliku tankih filmova te i znanje i iskustvo znanstvenika neka se slobodno obrate Institutu „Ruđer Bošković“.