CMS-18 sustav za pripravljanje tankih slojeva postupkom magnetronskog rasprašenja

CMS-18 uredjaj tvrtke Kurt J. Lesker Co. (Clairton, PA, USA) je integrirani sustav za pripravljanje tankih filmova magnetronskim rasprasenjem. Sa svoja cetiri magnetronska izvora uredjaj omogućava pripravljanje različitih (metalnih, poluvodičkih, dielektričnih, metastabilnih itd.) materijala u širokom rasponu sastava i struktura postupcima depozicije, kodepozicije, sekvencijalne depozicije i reaktivne depozicije na različite podloge.

Funding sources
MZOŠ
Institution

Institut Ruđer Bošković

Bijenička cesta 54

10000

Zagreb

Hrvatska

Contact

Nikola Radić

Dr.sc.

Institut Ruđer Bošković, Zavod za fiziku materijala

(01) 4680 224

(01) 4680 114

-

Web pages
http://sestar.irb.hr/instrumenti_show.php?ID=34