Osnovna aktivnost laboratorija je depozicija i
karakterizacija tankih metalnih i poluvodičkih filmova rasprašenjem u magnetronskom izvoru
čestica.
Karakterizacija deponiranih filmova se u principu vrši u
suradnji sa drugim laboratorijima IRB-a i drugih institucija u zemlji i
inozemstvu a uključuje:
-
električna mjerenja
-
strukturna mjerenja x-zrakama
-
vibracionu spektroskopiju (FTIR, Raman)
-
nuklearne metode (ERDA, RBS)
-
mjerenja mehaničkih osobina

webmail 