CMS-18 sustav za pripravljanje tankih slojeva postupkom magnetronskog rasprašenja

CMS-18 sustav za pripravljanje tankih slojeva postupkom magnetronskog rasprašenja

CMS-18 uredjaj tvrtke Kurt J. Lesker Co. (Clairton, PA, USA) je integrirani sustav za pripravljanje tankih filmova magnetronskim rasprasenjem. Sa svoja cetiri magnetronska izvora uredjaj omogućava pripravljanje različitih (metalnih, poluvodičkih, dielektričnih, metastabilnih itd.) materijala u širokom rasponu sastava i struktura postupcima depozicije, kodepozicije, sekvencijalne depozicije i reaktivne depozicije na različite podloge.

Funding sources
Ministarstvo znanosti i obrazovanja RH (MZO)
Institution

Institut Ruđer Bošković

Bijenička cesta 54

10000

Zagreb

Hrvatska

Contact

Maja Buljan

Dr.sc.

Institut Ruđer Bošković, Zavod za fiziku materijala

(01) 4680 224

(01) 4680 114

-

Web pages
https://sestar.irb.hr/instrumenti_show.php?ID=34

This site uses cookies.

Some of these cookies are essential, while others help us improve your experience by providing insights into how the site is being used.

For more detailed information on the cookies we use, please check our Privacy Policy.

  • Necessary cookies enable core functionality. The website cannot function properly without these cookies, and can only be disabled by changing your browser preferences.