CMS-18 sustav za pripravljanje tankih slojeva postupkom magnetronskog rasprašenja

CMS-18 sustav za pripravljanje tankih slojeva postupkom magnetronskog rasprašenja

CMS-18 uredjaj tvrtke Kurt J. Lesker Co. (Clairton, PA, USA) je integrirani sustav za pripravljanje tankih filmova magnetronskim rasprasenjem. Sa svoja cetiri magnetronska izvora uredjaj omogućava pripravljanje različitih (metalnih, poluvodičkih, dielektričnih, metastabilnih itd.) materijala u širokom rasponu sastava i struktura postupcima depozicije, kodepozicije, sekvencijalne depozicije i reaktivne depozicije na različite podloge.

Sredstva nabave
Ministarstvo znanosti i obrazovanja RH (MZO)
Institucija

Institut Ruđer Bošković

Bijenička cesta 54

10000

Zagreb

Hrvatska

Kontakt

Maja Buljan

Dr.sc.

Institut Ruđer Bošković, Zavod za fiziku materijala

(01) 4680 224

(01) 4680 114

-

Web stranice
https://sestar.irb.hr/instrumenti_show.php?ID=34

Ova stranica koristi kolačiće

Neki od tih kolačića nužni su za ispravno funkcioniranje stranice, dok se drugi koriste za praćenje korištenja stranice radi poboljšanja korisničkog iskustva.

Za više informacija pogledajte naše uvjete korištenja.

  • Kolačići koji su nužni za ispravno funkcioniranje stranice. Moguće ih je onemogućiti u postavkama preglednika.