CMS-18 sustav za pripravljanje tankih slojeva postupkom magnetronskog rasprašenja
CMS-18 uredjaj tvrtke Kurt J. Lesker Co. (Clairton, PA, USA) je integrirani sustav za pripravljanje tankih filmova magnetronskim rasprasenjem. Sa svoja cetiri magnetronska izvora uredjaj omogućava pripravljanje različitih (metalnih, poluvodičkih, dielektričnih, metastabilnih itd.) materijala u širokom rasponu sastava i struktura postupcima depozicije, kodepozicije, sekvencijalne depozicije i reaktivne depozicije na različite podloge.
- Sredstva nabave
- Ministarstvo znanosti i obrazovanja RH (MZO)
- Institucija
-
Institut Ruđer Bošković
Bijenička cesta 54
10000
Zagreb
Hrvatska
- Kontakt
-
Maja Buljan
Dr.sc.
Institut Ruđer Bošković, Zavod za fiziku materijala
mbuljan@irb.hr
(01) 4680 224
(01) 4680 114
-
- Web stranice
- https://sestar.irb.hr/instrumenti_show.php?ID=34
Institut Ruđer Bošković