Skip to main content

Sustav za depoziciju tankih slojeva DC i RF magnetrosnkim rasprašenjem. Uređaj se sastoji od ultra-visokovakuumske komore i magnetronskog izvora. Za postizavnje visokog vakuuma u komori uređaj koristi turbo-molekularnu pumpu povezanu s membranskom pumpom. Radio-frekventni izvor napona omogućava rasprašenje materijala male vodljivosti.

General instrument information

Skraćeni naziv instrumenta
Magnetronsko rasprašenje
Uža područja primjene
materials physics
Namjena instrumenta
priprema tankih filmova
Kategorija
srednja
Vrsta instrumenta
uređaj za depoziciju tankih filmova
Vrsta analize
priprema uzoraka
Primjene
depozicija tankih filmova
Samostalan/vezan
Samostalan instrument
Tijelo koje je financiralo nabavku opreme
Ministarstvo znanosti i obrazovanja RH (MZO) , Europska komisija
Vanjski link za kapitalnu opremu (sestar.irb.hr)

Characteristics

Detaljne tehničke karakteristike
- Pumpa; Membranska Vakuum (2002)
- Sustav; vakuumskih pumpi (2005)
- Sustav; Izvor čestica za nanošenje tankih filmova Kurt J. Lesker (2011)
- Komora; za depoziciju poluvodičkih tankih filmova, Vakum Praha (2011)
- Nosač komore (2011)
- Vakuummetar, Kurt J. Lesker (2015)
- Izvor RF, Kurt J. Lesker (2015)
- Vakummetar, MKS Instruments (2016)
- Predkomora Ultravisokovakumska, MDC Vacuum (2015)

Location

Zavod
Laboratorij
Grad
Zagreb
Adresa
Bijenička 54
Krilo/Kat/Soba
I/0/117

Terms of use

Popis ovlaštenih korisnika
Krunoslav Juraić
Način korištenja instrumenta
samostalni rad - ovlašteni korisnici , rad uz pomoć ovlaštenog korisnika

This site uses cookies.

Some of these cookies are essential, while others help us improve your experience by providing insights into how the site is being used.

For more detailed information on the cookies we use, please check our Privacy Policy.

  • Necessary cookies enable core functionality. The website cannot function properly without these cookies, and can only be disabled by changing your browser preferences.