Sustav za magnetronsko rasprašenje
Sustav za depoziciju tankih slojeva DC i RF magnetrosnkim rasprašenjem. Uređaj se sastoji od ultra-visokovakuumske komore i magnetronskog izvora. Za postizavnje visokog vakuuma u komori uređaj koristi turbo-molekularnu pumpu povezanu s membranskom pumpom. Radio-frekventni izvor napona omogućava rasprašenje materijala male vodljivosti.
General instrument information
Skraćeni naziv instrumenta
Magnetronsko rasprašenje
Uža područja primjene
materials physics
Namjena instrumenta
priprema tankih filmova
Kategorija
srednja
Vrsta instrumenta
uređaj za depoziciju tankih filmova
Vrsta analize
priprema uzoraka
Primjene
depozicija tankih filmova
Samostalan/vezan
Samostalan instrument
Tijelo koje je financiralo nabavku opreme
Ministarstvo znanosti i obrazovanja RH (MZO)
, Europska komisija
Vanjski link za kapitalnu opremu (sestar.irb.hr)
Characteristics
Detaljne tehničke karakteristike
- Pumpa; Membranska Vakuum (2002)
- Sustav; vakuumskih pumpi (2005)
- Sustav; Izvor čestica za nanošenje tankih filmova Kurt J. Lesker (2011)
- Komora; za depoziciju poluvodičkih tankih filmova, Vakum Praha (2011)
- Nosač komore (2011)
- Vakuummetar, Kurt J. Lesker (2015)
- Izvor RF, Kurt J. Lesker (2015)
- Vakummetar, MKS Instruments (2016)
- Predkomora Ultravisokovakumska, MDC Vacuum (2015)
- Sustav; vakuumskih pumpi (2005)
- Sustav; Izvor čestica za nanošenje tankih filmova Kurt J. Lesker (2011)
- Komora; za depoziciju poluvodičkih tankih filmova, Vakum Praha (2011)
- Nosač komore (2011)
- Vakuummetar, Kurt J. Lesker (2015)
- Izvor RF, Kurt J. Lesker (2015)
- Vakummetar, MKS Instruments (2016)
- Predkomora Ultravisokovakumska, MDC Vacuum (2015)
Location
Zavod
Laboratorij
Grad
Zagreb
Adresa
Bijenička 54
Krilo/Kat/Soba
I/0/117
Terms of use
Popis ovlaštenih korisnika
Krunoslav Juraić
Način korištenja instrumenta
samostalni rad - ovlašteni korisnici
, rad uz pomoć ovlaštenog korisnika