Prijeđite na glavni sadržaj

Sustav za depoziciju tankih slojeva DC i RF magnetrosnkim rasprašenjem. Uređaj se sastoji od ultra-visokovakuumske komore i magnetronskog izvora. Za postizavnje visokog vakuuma u komori uređaj koristi turbo-molekularnu pumpu povezanu s membranskom pumpom. Radio-frekventni izvor napona omogućava rasprašenje materijala male vodljivosti.

Opći podaci o instrumentu

Skraćeni naziv instrumenta
Magnetronsko rasprašenje
Uža područja primjene
materials physics
Namjena instrumenta
priprema tankih filmova
Kategorija
srednja
Vrsta instrumenta
uređaj za depoziciju tankih filmova
Vrsta analize
priprema uzoraka
Primjene
depozicija tankih filmova
Samostalan/vezan
Samostalan instrument
Tijelo koje je financiralo nabavku opreme
Ministarstvo znanosti i obrazovanja RH (MZO) , Europska komisija
Vanjski link za kapitalnu opremu (sestar.irb.hr)

Karakteristike

Detaljne tehničke karakteristike
- Pumpa; Membranska Vakuum (2002)
- Sustav; vakuumskih pumpi (2005)
- Sustav; Izvor čestica za nanošenje tankih filmova Kurt J. Lesker (2011)
- Komora; za depoziciju poluvodičkih tankih filmova, Vakum Praha (2011)
- Nosač komore (2011)
- Vakuummetar, Kurt J. Lesker (2015)
- Izvor RF, Kurt J. Lesker (2015)
- Vakummetar, MKS Instruments (2016)
- Predkomora Ultravisokovakumska, MDC Vacuum (2015)

Lokacija

Zavod
Laboratorij
Grad
Zagreb
Adresa
Bijenička 54
Krilo/Kat/Soba
I/0/117

Uvjeti korištenja

Popis ovlaštenih korisnika
Krunoslav Juraić
Način korištenja instrumenta
samostalni rad - ovlašteni korisnici , rad uz pomoć ovlaštenog korisnika

Ova stranica koristi kolačiće

neki od tih kolačića nužni su za ispravno funkcioniranje stranice, dok se drugi koriste za praćenje korištenja stranice radi poboljšanja korisničkog iskustva.

Za više informacija pogledajte naše uvjete korištenja.

  • Kolačići koji su nužni za ispravno funkcioniranje stranice. Moguće ih je onemogućiti u postavkama preglednika.