CMS-18 sustav za pripravljanje tankih slojeva postupkom magnetronskog rasprašenja
Kontakt osobe
CMS-18 uredjaj tvrtke Kurt J. Lesker Co. (Clairton, PA, USA) je integrirani sustav za pripravljanje tankih filmova magnetronskim rasprasenjem. Sa svoja cetiri magnetronska izvora uredjaj omogućava pripravljanje različitih (metalnih, poluvodičkih, dielektričnih, metastabilnih itd.) materijala u širokom rasponu sastava i struktura postupcima depozicije, kodepozicije, sekvencijalne depozicije i reaktivne depozicije na različite podloge.
Opći podaci o instrumentu
Skraćeni naziv instrumenta
CMS-18 SPUTTERING SYSTEM
Popis usluga
Array
Kategorija
srednja (od 55.000 do 400.000 EUR)
Vrsta instrumenta
alat za fabrikaciju
Vrsta analize
strukturna analiza
Samostalan/vezan
samostalan
Stanje opreme
potpuno funkcionalan
Discipline
Fizika
Datum nabave
05.03.2003
Tijelo koje je financiralo nabavku opreme
Hrvatska zaklada za znanost
Vanjski link za kapitalnu opremu
Karakteristike
Model
CMS-18
Proizvođač
K.J. Lesker
Nabavna cijena
2000000 HRK
Prenosivost
Ne
Rad na daljinu
Ne
Lokacija
Adresa
Bijenička cesta 54
Krilo/Kat/Soba
I krilo/1. kat/soba 217
Uvjeti korištenja
Upute za korisnike
Svi zainteresirani korisnici trebaju se javiti voditelju instrumenta (email: maja.micetic@irb.hr), nakon čega slijedi dogovor oko detalja i uvjeta depozicije. Zbog složenosti postupka prvo je neophodno provjeriti izvedivost tražene depozicije te dostupnost materijala i podloga za depoziciju.