Laboratorij za tanke filmove
Osnovna aktivnost laboratorija je depozicija i karakterizacija tankih metalnih i poluvodičkih filmova rasprašenjem u magnetronskom izvoru čestica.
Voditelj
Karakterizacija deponiranih filmova u principu se vrši u suradnji s drugim laboratorijima IRB-a i drugih institucija u zemlji i inozemstvu, a uključuje:
- električna mjerenja
- strukturna mjerenja x-zrakama
- vibracijsku spektroskopiju (FTIR, Raman)
- nuklearne metode (ERDA, RBS)
- mjerenja mehaničkih osobina